阿特拉斯·科普柯ZRS系列机械增压泵基于罗茨原理，机械增压泵是压力范围为0.01至10 mbar需要大抽速的应用中最受欢迎的类型。一般需要配套一台前级泵使 用，前级泵可以预抽到增压泵的启动压力。机械增压泵运行压力相对较低，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性工艺介质中，因此可靠性非常高。这一独特系列的产品优势：

1.适用于压力范围为0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr，需要抽速较大 的应用场合。

2. 运行压力相对较低，可靠性极高。

3.ZRS系列属于高品质、无油泵结构 （噪音低、无振动运行 坚固耐用、耐腐蚀 拥有先进的轴封技术，工艺腔无油污染）。

4.有效的轴封确保油不会进入泵腔，而且由于没有内部和外部旁通管路 和阀这些可能会被腐蚀的部件，因此将维护需求降至最低。

5.对轴封的设计进行了优化，以确保润滑剂不会迁移到泵腔，使泵在洁 净度要求极高的环境下发挥增压泵的性能。此外，还可以防止在公差非常严格的转子凸角和端面上聚集微尘颗粒。

6. 动平衡的转子及精密研磨齿轮使泵的运行平稳、静音，以满足先进技术设备制造商的要求。

阿特拉斯·科普柯ZRS机械增压泵系列产品：ZRS 250、ZRS 500、ZRS 1200、ZRS 2600、ZRS 4200

阿特拉斯·科普柯ZRS机械增压泵系列产品图片：

阿特拉斯·科普柯ZRS机械增压泵系列产品参数：

罗茨泵需要在纯粹的容积水平上运行，且与旋片式真空泵相比，罗茨泵不具有内部压缩功能。它能够对排气压力进行压缩。与旋片式真空泵相比，与介质接触的所有部件都是无油的，而且，所有适用于罗茨泵的部件同样适用于干式真空泵。它的特点就是结构紧凑、泵速高。

1、在极限压力下运行

对于在最大差压下运行的罗茨泵，在对其进行冷却前，不建议将其直接置于极限压力下运行。在极限压力下，由于真空泵转速过快，最小或零气体通过量不会通过气体或外壳表面散发任何热量。由于温度的突然升高，转子和外壳之间的的气隙太小，泵会停止转动。在严重情况下，这会导致真空泵完全失效。

2、不当的温度波动

　　在罗茨泵塞仍然很热的情况下，环境温度突然大幅度下降将会造成泵壳收缩，导致泵停止转动。如图1所示，这在极限压力下作业时会尤其重要。因此，必须不惜一切代价避免环境温度的突变。另外，操作人员一定要注意不要突然打开附近的百叶窗、其他门等，特别是在冬天。

　　另外，对于那些自立式泵，要将其放在屋檐或天蓬下，以免其受到雨淋。如果在发生火灾时，将水直接对准泵，泵壳可能会爆炸，尤其是那些由灰口铸铁制作的壳体更容易发生爆炸。球墨铸铁版的泵，由于其材料的较高强度，更适合于承受这样的热波动。

3、温度控制

　　如果将罗茨泵以其最大差压运行，则需要在排气端安装一个温度传感器，用以防止过热及由此产生的任何损害。这会在限定的温度时产生警报，并且当其达到最大允许气温时，将会关闭泵。

4、快速抽空

　　在应用中，必须实现几秒钟的抽取周期，因此操作人员必须要确保罗茨泵和前级泵的比例为1：2。保证这一比例非常的必要，因为前级泵以100 hPa压强将空气泵出占用了大部分的泵出时间，而罗茨泵只需从10 hPa起的压力就可以有效运转。因此，前级泵尺寸必须相应地大一些才行。

5、液体侵入

　　突然的液体侵入会损坏泵，因为发生急剧冷却时，气体无法达到所需的温度来蒸发液体。额外的蒸汽不能及时泵出，因为前级泵已经超负荷且前级压力可能上升到过高的水平。为防止这种情况的发生，有必要在处理室和罗茨泵之间安装一个接收器，以使液体在没进入泵前就被吸收。

6、启动泵

　　如果使用了多级泵站或者多个并行操作的真空泵组合，那就有必要以交错的间隔来启动这些泵，最先要启动的是大气泵，这样可以避免过度的电力峰值以及保护高成本的断路器。这通过计时元件可很容易地在控制器和PLC中实现。还有一种方法，就是使用一个变频器，缓慢地启动泵。

7、灰尘堆积

　　在会产生颗粒或挟带灰尘的工艺过程中，如在冶金或拉晶过程中，有必要在泵的进气口安装一个滤尘器，保护罗茨泵和下游泵。应该在罗茨泵的进气口处安装所谓的碎片保护网，防止在第一次使用系统时，由于清洁不当导致有较大固体物质和焊珠从焊接接头射出。在这种情况下，建议使用泵制造商的配件，因为设计了碎片保护网，以使其自由截面与泵的公称直径相符。保证了泵速不会因意外的电导损耗量而受到影响。